VP20 고압 라인 다이어프램 밸브 - 20 MPa 고압 라인 다이어프램 밸브

VP20 · 고압 다이어프램 밸브

VP20 고압 라인 다이어프램 밸브

Name: VP20 고압 라인 다이어프램 밸브
Brand: Valonix
SKU: VP20

튜브 트레일러 전후방 구획 및 고압 배관 시스템용 20 MPa 맞대기용접 라인 밸브

~를 위해 제작 초고순도 특수가스 서비스, VP20 은(는) 다음 제품군에 속합니다 고압 다이어프램 밸브 격리, 전환 및 유량 제어를 포괄하는 계열

20 MPa 고압 라인 다이어프램 밸브316L 접액 본체헬륨 누설 테스트 완료

견적 요청 고압 다이어프램 밸브 제품군

3/8, 1/4포트사이즈

20 MPa최대 압력

요청 시Cv

맞대기용접연결

VP20 고압 라인 다이어프램 밸브 개요

VP20은 3/8, 1/4 포트와 모델별 유량계수를 갖추고 최대 작동 압력 20 MPa인 고순도 특수가스 밸브입니다. 튜브 트레일러 전방 및 후방 구획과 고압 파이프라인 시스템용 20 MPa 맞대기용접 라인 밸브입니다. 공정 흐름에 패킹 스템 씰을 도입하지 않으면서 청정하고 반복 가능한 폐쇄 또는 전환 기능이 필요한 고순도 가스 시스템의 지점에 적합합니다.

다층 금속 다이어프램이 본체와 본넷 사이에 고정되어 공정 가스와 액추에이터 사이에 기밀 차단막을 형성합니다. 접액 유로에 슬라이딩 스템 씰, 패킹, 윤활유가 없어 파티클 발생과 잔류 체적이 극히 낮습니다. 짧고 매끄러운 유로와 낮은 내부 체적으로 퍼지 사이클이 빠르며, 이는 라인이 반응성 가스 사이를 전환할 때 중요합니다. 제공되는 엔드 연결은 맞대기용접이므로 동일한 본체를 면실링 장비 훅업, 용접 분배 헤더 또는 현장 시공 계기 배관에 사용할 수 있습니다.

주요 특징 및 설계상 이점

3/8, 1/4 포트, Cv 모델별 상이 — 과도한 데드볼륨 없이 20 MPa 고압 라인 다이어프램 밸브의 유량 조건에 맞춰 설계
20 MPa 보강된 시트와 헬륨 테스트를 거친 압력 경계를 갖춘 최대 작동 압력
다층 금속 다이어프램이 본체와 본넷 사이에 고정되어 공정 가스와 액추에이터 사이에 기밀 차단막을 형성합니다.
빠른 건조 및 낮은 수분 잔류를 위한 전해연마 접액 표면
수동 또는 상시폐쇄 공압 작동; 공압형은 계기 공기 손실 시 페일 클로즈됩니다.
설치 조건에 맞는 VCR, 맞대기용접, 컴프레션 또는 실린더 표준 엔드 연결
클린룸 조립, 이중 포장 및 밸브별 누설 기록 제공 가능

기술 사양

작동 압력	20 MPa
포트사이즈	3/8, 1/4
엔드 연결	맞대기용접
Service	튜브 트레일러 구획, 고압 배관
모델코드	VP20
제품 계열	고압 다이어프램 밸브
본체 재질	316L VIM/VAR 스테인리스강, 저개재물
실링 요소	다층 316L 금속 다이어프램, 할라이드용 니켈 합금 옵션
접액 표면 마감	전해연마, 일반적으로 Ra 0.25 um (10 uin) 이상
누설테스트	헬륨 질량분석기, 내부 및 시트를 가로지르는 부위; 일반적으로 1 x 10^-9 mbar l/s
작동 온도	일반적으로 수동 -10 C~+80 C, 공압 -10 C~+65 C
작동 방식	수동 핸드휠 또는 상시 폐쇄 공압식, 60-90 PSI 계기 공기
청정도	초고순도 가스 서비스용으로 세정, 건조 및 조립되었습니다
포장	클린룸 이중 봉투, 설치용으로 밀봉
문서	재질 증명서, 헬륨 누설 기록, 적합성 증명서

위 값은 VP20 모델의 표준 구성을 나타냅니다. 최종 재질, 시트, 작동 방식, 시험 한계 및 인증은 견적과 함께 발행되는 주문별 데이터시트에서 확인됩니다.

고압 다이어프램 밸브 계열 내 모델 비교

바디는 포트 크기만이 아니라 유량 요구사항에 따라 선택하십시오. 아래 표는 가스 시스템 설계를 좌우하는 세 가지 매개변수(포트 크기, 유량 계수, 최대 작동 압력)를 기준으로 VP20 을(를) 동일 계열 모델과 비교합니다.

모델	포트	Cv	최대 압력
VX4H-HP	1/4	0.20	4500 PSI
VX8H-HP	1/2	0.80	3500 PSI

구조 및 접액 재료

다층 금속 다이어프램이 바디와 보닛 사이에 체결되어 공정 가스와 액추에이터 사이를 기밀하게 차단합니다. 접액 유로에는 슬라이딩 스템 실링, 패킹, 윤활제가 모두 없으므로 입자 발생과 잔류 체적이 매우 작습니다. VP20 의 접액 유로는 개재물이 적고 황 함량이 관리된 316L VIM/VAR 스테인리스강으로 가공한 뒤 전해 연마합니다. 할로겐화물 또는 수소화물 가스가 요구하는 경우 니켈계 다이어프램 또는 시트 합금으로 대체할 수 있습니다.

구성 요소	표준 사양
바디	316L VIM/VAR 스테인리스강 봉재
접액 마감	전해연마, 일반적으로 Ra 0.25 um (10 uin) 이상
실링 요소	다층 316L 금속 다이어프램, 할라이드용 니켈 합금 옵션
액추에이터	수동 핸드휠 또는 상시 폐쇄 공압 피스톤, 60-90 PSI 공급
공정 연결	맞대기용접

엔드연결 및 포트 옵션

VP20 은(는) 일반적으로 3/8, 1/4 포트 으로 주문됩니다. 연결 선택은 청정도와 유지보수성 모두에 영향을 줍니다. VCR 면실링은 장치 배관에 재현성 있는 금속 대 금속 밀봉을 제공하고, 궤도 용접은 영구 고순도 헤더에 적합하며, 압착 피팅은 현장에서 배관을 조립해야 할 때 사용됩니다.

매개변수	선택 가능 옵션
표준 포트	3/8, 1/4
엔드 연결	맞대기용접
씰 규격	VCR 면실링 / 궤도 맞대기 용접 / 압착 피팅 / 실린더 서비스용 CGA 또는 DISS
작동 방식	수동 또는 60-90 PSI 계기 공기로 작동하는 상시 폐쇄 공압식
선택 문서	재질 증명서, 헬륨 누설 기록, 적합성 증명서

가스 적합성 및 일반적인 적용 분야

모델 VP20 은(는) 실란(SiH4), 암모니아(NH3), 염화수소(HCl), 염소(Cl2), 삼불화질소(NF3), 육불화텅스텐(WF6) 및 고순도 N2, Ar, He, H2 에 선택됩니다. 농도, 온도 및 수분 또는 산소 한도를 반드시 명시하십시오. 출하 전에 접액 합금과 시트를 확인할 수 있도록 하기 위해서입니다.

반도체 장비 배관 연결 및 가스캐비닛 격리 분기
밸브 매니폴드 박스, 전환 패널 및 퍼지 / 벤트 라인
고순도 실험실, 분석 기기 및 교정 가스 라인
태양광, MOCVD 및 수소 분배 시스템
관련 적용 가이드:
수소 및 연료전지 고압 밸브

설치, 퍼지 및 취급

승인된 도면에 표시된 유량 방향 및 포트 방향에 따르십시오. 접속이 완료될 때까지 보호 캡을 씌워 두고, 면실링 피팅은 규정 토크로 조인 다음 공정 가스를 주입하기 전에 건조 불활성 가스로 퍼지하십시오. 내부 부피가 작으므로 일반적으로 짧은 순환 퍼지로도 요구 수분 수준에 도달합니다. 에 따라 VP20 을(를) 설치하세요.

청정 장갑을 착용하고 관리 구역에서 다루십시오. 설치 전까지 이중 봉투를 개봉하지 마십시오.
고순도 헤더에 궤도 용접 또는 인증된 면실링 글랜드를 사용하십시오.
공정가스 투입 전에 건조한 N2 또는 Ar로 퍼지하고 상류의 수분 / 산소를 확인하십시오.
조립된 접합부, 이어서 내부 및 시트를 가로지르는 영역의 헬륨 누설을 점검하십시오.
시리얼 번호, 누설 결과 및 취급 가스를 시스템 기록부에 기록하십시오.

주문 및 구성

모델코드와 아래 옵션을 견적에 포함해 주십시오. 가스가 부식성 또는 자연발화성인 경우에는 농도까지 명시하여 다이어프램 또는 시트 합금을 해당 서비스에 맞출 수 있도록 해 주십시오.

주문 파라미터	선택하신 사항
기본 모델	VP20 — VP20 고압 라인 다이어프램 밸브
포트사이즈	3/8, 1/4
엔드 연결	맞대기용접
작동 방식	수동 핸드휠 / 상시 폐쇄 공압 (60-90 PSI)
접액합금	316L VIM/VAR 표준, 가스 호환성에 따른 니켈 기반 합금
문서	재질 증명서, 헬륨 누설 기록, 적합성 증명서(필요 시 명시)

데이터시트가 필요하신가요? 모델 코드 VP20 과 귀사의 가스 목록, 압력, Cv 목표값 및 연결을 다음 을 보내 주세요. 견적서 그리고 확인된 구성과 리드타임을 회신해 드립니다.

VP20 사양을 지정할 준비가 되셨나요?

가스, 압력, 유량 및 연결 상세 정보를 보내주시면 당사가 모델, 재질 및 리드타임을 확인해 드립니다.

견적 요청

자주 묻는 질문

VP20 의 주요 사양은 무엇인가요?

VP20은 3/8, 1/4 포트로 공급되며 최대작동압력은 20 MPa이고 Cv는 모델별입니다. 엔드연결은 맞대기용접입니다. 본 페이지의 전체 사양 표는 재질, 누설테스트, 구동 방식 및 청정도 요건을 열거합니다.

VP20 은(는) 부식성 또는 유독성 특수가스 에 적합한가요?

실란(SiH4), 암모니아(NH3), 염화수소(HCl), 염소(Cl2), 삼불화질소(NF3), 텅스텐 헥사플루오라이드(WF6) 및 고순도 N2, Ar, He, H2에 사용됩니다. 호환성은 접액 합금과 실링 요소에 따라 달라지므로 견적을 요청할 때 가스와 농도를 명시해 주시면 재질 선정을 확인해 드리겠습니다.

VP20 은(는) 어떻게 작동하며 안전 상태는 어떻게 되나요?

표준 구성은 수동 핸드휠 또는 60-90 PSI 계기용 공기를 사용하는 상시폐쇄 공압 액추에이터입니다. 공압형은 공기 공급이 끊기면 닫히며, 이는 대부분의 가스캐비닛 및 장비 연결 차단 지점에서 요구되는 안전상태입니다.

VP20 은(는) 어떻게 주문하나요?

가스 목록, 작동 압력, 필요 Cv, 포트 크기, 단자 연결 및 작동 방식. 재질 인증서, 밸브별 헬륨 누설 시험 기록 및 적합성 인증서를 주문과 함께 제공할 수 있습니다. 과 함께 VP20 모델의 견적을 요청하세요.