UHP 밸브의 헬륨 누설률 기준

게시됨 2026-11-05 · 업데이트 2026-11-05 · Valonix Engineering

헬륨 누설 테스트는 깨끗한 밸브를 인증된 UHP 밸브로 바꾸는 인수 측정입니다. 질량분석기 누설 검출기를 사용하며 밸브를 진공으로 만들고 외부에 헬륨을 분사하는 방식(인보드 누설) 또는 한쪽에 헬륨을 가압하고 시트에서 측정하는 방식(시트 간 누설)으로 수행합니다.

인보드 및 시트 간 테스트는 서로 다릅니다

내측 누설은 대기압에 대한 바디, 다이어프램 및 스템 경계의 건전성을 측정합니다. 시트 간 누설은 닫힌 밸브가 하류 측을 얼마나 잘 차단하는지를 측정합니다. 둘 다 사양에 포함되어야 하며, 하나만 제시하면 밸브의 반이 검증되지 않은 채로 남습니다.

헬륨을 쓰는 이유

헬륨은 불활성이며 원자 반경이 작고 공기 중에는 미량만 존재하므로 검출기의 배경 노이즈가 매우 낮습니다. 수소, 실란 또는 기타 작은 분자 가스를 취급할 시스템에 대해 보수적이고 반복 가능한 추적 가스입니다.

인수 기준 지정

테스트 방법, 테스트 압력, 방향, 허용 누설률, 그리고 상온에서와 사이클 시험 후에 테스트를 수행하는지 여부를 명시하십시오. 패널을 팹에서 인증할 예정이라면 배치 성적서보다 밸브별 기록을 요청하십시오.

누설률과 시스템 순도 비교

누설이 적은 밸브는 필요하지만 충분하지는 않습니다. 조립, 포장 및 설치 과정에서 발생한 수분과 파티클이 여전히 실제 오염의 주된 원인이므로, 누설테스트는 전해연마, 클린룸 조립 및 이중 봉투 포장과 함께 수행되어야 합니다.

현장 재확인

용접하거나 면실링을 다시 체결한 뒤에는 해당 접합부를 재점검하십시오. 개스킷이 어긋나거나 용접부에 기공이 있으면 공장에서 합격한 밸브도 설치 후 누설이 발생할 수 있습니다.

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