부식성 및 독성 특수가스
부식성 및 유독성 가스는 밸브 선정을 안전성 검토 과제로 만듭니다. 접액 합금, 다이어프램 재질, 스템 실링 및 페일 위치는 패널을 제작하기 전에 모두 가스에 맞춰 선정해야 합니다.
Valonix는 공격적이거나 고온인 서비스에는 벨로우즈 실링 밸브를, 더 청정한 공급 배관에는 UHP 다이어프램 밸브를 공급하며, 재질 적합성을 신고된 가스 목록에 비추어 검토합니다.
가스별 고려사항
염소와 염화수소는 많은 엘라스토머를 공격하므로 호환 합금이 필요하고, 암모니아는 수분이 있으면 부식성이며, 실란은 자연발화성이고, NF3는 공정 조건에서 강한 산화제입니다. 설치 중 수분 유입은 가스 자체보다 더 큰 손상을 일으키는 경우가 많습니다.
- Cl2 / HCl: 할라이드 호환 합금
- NH3: 시스템을 건조하게 유지하십시오
- SiH4: 자연발화성, 상시폐쇄
- NF3: 산화제, 청정 및 탈지
일차 밀폐
용접된 메탈 벨로우즈는 가스 경로에 엘라스토머 없이 기밀한 스템 실링을 제공합니다. 다이어프램 밸브는 분배용으로 가장 낮은 데드볼륨을 제공합니다. 둘 다 헬륨 누설테스트를 거치며, 선택은 온도, 공격성 및 순도 목표에 따라 달라집니다.
- 벨로우즈: 기밀 스템, 부식성/고온 서비스
- 다이어프램: 최저 데드볼륨, UHP 라인
- 둘 다 헬륨 누설테스트 완료
인터록 및 안전상태
독성 가스 라인의 모든 구동 밸브는 상시폐쇄형이어야 하며, 위치 피드백을 가스 검지 및 비상 차단 시스템에 배선해야 합니다. 퍼지 및 벤트 라인에는 역류 이동을 막기 위한 체크밸브가 필요합니다.
- 공기 또는 전원 손실 시 상시폐쇄
- 가스 감지 / ESD로의 위치 피드백
- 퍼지 및 벤트 라인에 체크밸브
추천 밸브 계열
벨로우즈 실링 밸브
독성, 부식성 및 고온 특수가스용 벨로우즈 실링 밸브
UHP 다이어프램 밸브
특수가스 공급용 초고순도 다이어프램 밸브. 316L VIM/VAR 바디
고순도 체크밸브
특수가스 시스템용 고순도 체크 밸브 및 역지 밸브
자주 묻는 질문
염소 취급용으로는 어떤 밸브 유형이 적합한가요?
할라이드와 호환되는 접액 재질을 갖춘 벨로우즈 실 밸브를 통상 지정하며, 농도와 온도를 명시해 주십시오.
여기서 상시폐쇄는 무슨 뜻인가요?
계기 공기 또는 전원이 끊기면 밸브가 자동으로 폐쇄되며, 이는 유독가스 라인에 요구되는 안전 상태입니다.