태양광 및 태양전지 제조
광전지 셀 생산은 PECVD, 확산 및 박막 증착 장비 전반에서 실란, 암모니아, 아산화질소, 질소를 대량으로 사용합니다. 배관 크기는 반도체 팹보다 큰 경우가 많으므로 유량 용량과 압력 안정성이 궁극적인 순도만큼이나 중요합니다.
Valonix는 이러한 분배 시스템용으로 대유량 UHP 다이어프램 밸브, 레귤레이터 및 체크밸브를 공급하며, 영구 헤더와 유지보수 가능한 장비 연결 모두에 맞도록 맞대기용접 및 면실링 단부를 제공합니다.
대유량 분배
태양광 라인은 보통 1/2~1 인치 공급 헤더를 사용합니다. 분기에는 Cv 0.70 밸브를, 헤더에는 Cv 2.8-3.5 밸브를 적용하면 청정하고 퍼지 가능한 유량 경로를 유지하면서 압력강하를 낮게 할 수 있습니다.
- Cv 0.70-0.80 분기 밸브
- Cv 2.8-3.5 헤더 밸브
- 1/2 ~ 1 인치 VCR 및 맞대기용접 포트
실란 안전
실란은 자연발화성입니다. 패널에는 상시폐쇄 공압 밸브, 전용 퍼지 라인, 퍼지 공급 측 체크밸브 및 인터록 벤트 경로를 사용해야 합니다. 밸브 위치 피드백을 통해 제어 시스템이 프로세스 단계가 시작되기 전에 안전상태를 입증할 수 있습니다.
- 상시폐쇄 공압 차단
- 인터록 퍼지 및 벤트
- 제어 시스템용 위치 피드백
청정도를 잃지 않으면서 라인별 비용
PV 팹은 많은 병렬 라인을 운영하므로 밸브 수가 많습니다. 한 밸브 계열을 모든 사이즈에 적용하면 예비품이 간소화되고 인증 작업이 줄어들며, 전체 공장에 걸쳐 접액 기준이 일관되게 유지됩니다.
- 모든 사이즈를 아우르는 하나의 밸브 제품군
- 일반 예비품 및 유지보수 절차
- 접액 재료 기준의 일관성
추천 밸브 계열
UHP 다이어프램 밸브
특수가스 공급용 초고순도 다이어프램 밸브. 316L VIM/VAR 바디
고순도 체크밸브
특수가스 시스템용 고순도 체크 밸브 및 역지 밸브
특수가스 레귤레이터
고순도 및 고압 특수가스 레귤레이터, 단일 및 이단, 600-6000 PSI 입구
자주 묻는 질문
PV 실란 라인에는 어떤 사이즈의 밸브를 사용하나요?
일반적으로 1/2 인치 분기 배관과 3/4~1 인치 헤더이며, 유량 수요에 따라 Cv 0.70-3.5를 적용합니다.
다이어프램 밸브는 실란에 적합한가요?
예, 상시폐쇄 공압 작동, 인터록 퍼지 라인 및 적합한 시트 재질을 갖추고 있습니다.