MOCVD LED 공정 가스 밸브
MOCVD 및 LED 공정가스
MOCVD 장비는 전구체와 퍼지 유량 사이를 빠르게 전환하며, 종종 고온 및 진공 조건에서 작동합니다. 이러한 라인의 밸브는 낮은 데드볼륨, 빠른 응답, 그리고 이전 전구체를 남겨두는 공동이 없어야 합니다.
Valonix 삼방향 전환밸브, 미터링 밸브 및 UHP 다이어프램 밸브는 금속유기 원료 라인, 수소화물 공급, 암모니아 및 수소 반송 라인에 사용됩니다.
빠르고 깨끗한 전환
삼방향 다이어프램 밸브는 런/벤트 라인상에서 티 배관과 두 밸브를 대체하여 데드볼륨을 줄이고 층 사이에 필요한 퍼지 시간을 단축합니다. 이는 에피택셜 성장에서 계면 선명도에 직접적인 영향을 줍니다.
- 삼포트 운전/벤트 전환
- 낮은 내부 체적
- 성장 단계 사이의 짧은 퍼지
전구체 및 수소화물 취급
유기금속 전구체와 하이드라이드는 엄격히 호환되는 접액 재질과 누설 없는 격리를 요구합니다. Cv 0.019의 미터링 밸브로 낮은 전구체 유량을 설정하고, 상시폐쇄 공압 밸브로 하이드라이드 라인의 안전상태를 보호합니다.
- 전구체 유량용 정밀 미터링 스템
- 상시폐쇄 수소화물 차단
- 가스별 재료 적합성 명시
진공 및 온도
MOCVD 라인은 진공과 양압 사이를 반복하며 일부는 가열됩니다. 온도나 공격적인 화학 물질 때문에 다이어프램 밸브가 적합하지 않은 곳에는 벨로우즈 실링 밸브를 지정합니다.
- 진공 사이클링 성능
- 가열 라인 고려사항
- 부식성/고온 서비스용 벨로우즈 밸브
추천 밸브 계열
삼방향 다이어프램 밸브
특수가스 패널의 공정/퍼지/벤트 전환용 삼포트 UHP 다이어프램 밸브
미터링 및 니들밸브
정밀한 특수가스 유량 제어를 위한 고순도 미터링 밸브 및 니들 밸브
벨로우즈 실링 밸브
독성, 부식성 및 고온 특수가스용 벨로우즈 실링 밸브
자주 묻는 질문
MOCVD 런/벤트 라인에 삼방향 밸브를 사용하는 이유는 무엇인가요?
이는 티 배관과 추가 조인트를 없애 데드볼륨과 에피택셜 층 사이의 퍼지 시간을 줄입니다.
어떤 밸브가 낮은 전구체 유량을 설정하나요?
Cv 약 0.019의 정밀 미터링 밸브는 낮은 전구체 유량에 필요한 분해능을 제공합니다.