삼방향 다이어프램 밸브
삼방향 다이어프램 밸브는 가스 라인을 프로세스, 퍼지 및 벤트 사이에서 전환해야 하는 곳에서 두 개 또는 세 개의 별도 차단밸브를 대체합니다. 바디가 적어지면 용접 조인트, 데드볼륨, 누설 점검 범위가 모두 줄어듭니다.
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Valonix 삼포트 밸브는 실린더 전환 패널, VMB/VMP 시스템의 퍼지 시퀀싱, MOCVD 장비의 분기 라인에 사용됩니다. 수동 및 공압 버전으로 제공되며, VCR 면실링 또는 맞대기용접 단부를 선택할 수 있습니다.
전환 토폴로지
공통 포트는 보통 프로세스 공급원에 연결되며, 두 출구 포트는 프로세스 공급과 퍼지/벤트에 배정됩니다. 데이터시트에서 유로 방향을 확인하십시오. 삼방향 밸브는 혼합 밸브가 아니며, 유량 방향이 시트 하중에 영향을 줍니다.
- 하나의 공통 포트와 두 개의 전환 포트
- 공정/퍼지 또는 공정/벤트 배관
- 주문 단계에서 유량 방향을 명시하십시오
퍼지 시퀀스 및 교차오염
호환되지 않는 가스 사이의 전환은 특수가스 시스템에서 가장 위험한 작업입니다. 밸브는 퍼지 포트가 열리기 전에 프로세스 포트를 완전히 차단해야 합니다. 위치 피드백이 있는 공압형은 장비 컨트롤러에 시퀀스를 입증하기가 더 쉽습니다.
- 연결하기 전에 먼저 끊는 전환 동작
- 인터록 확인용 위치 피드백
- 낮은 내부 체적이 퍼지 시간을 단축합니다
사이징 및 압력
삼방향 다이어프램 밸브는 보통 1/4, 3/8 및 1/2 인치 포트로 공급되며, Cv는 약 0.3, 작동 압력은 145-300 PSI입니다. 공압 전환형은 표준 이방향 밸브보다 높은 70-125 PSI의 액추에이터 공급 압력이 필요합니다.
- 1/4, 3/8 및 1/2 인치 VCR 포트
- Cv 약 0.3
- 145-300 PSI 작동 압력
일반 사양
| 포트 | 3포트, 1 공통 + 2 전환 |
|---|---|
| 포트사이즈 | 1/4", 3/8", 1/2" |
| Cv | 0.3 |
| 작동 압력 | 145-300 PSI |
| 액추에이터 공급 | 70-125 PSI 공압 |
| 엔드 연결 | VCR 면실링, 맞대기용접 |
자주 묻는 질문
삼방향 다이어프램 밸브가 두 가스를 혼합할 수 있나요?
아닙니다. 이는 전환/분류 밸브입니다. 혼합에는 제어된 유로를 갖춘 전용 믹서가 필요합니다.
액추에이터 압력이 표준 공압 밸브보다 높은 이유는 무엇입니까?
전환 기구가 두 시트 사이를 이동해 추가 추력이 필요하므로 70-125 PSI 공급 압력이 요구됩니다.
삼방향 밸브가 누설 지점을 줄이나요?
네. 두 개의 밸브와 연결 티를 하나의 본체로 대체하면 누설 점검 범위에서 용접 또는 면실링 접합부 여러 곳이 제외됩니다.