UHP 다이어프램 밸브

Valonix UHP 다이어프램 밸브는 316L VIM/VAR 스테인리스강 봉재, 전해연마 접액표면, 면실링 또는 맞대기용접 엔드 연결을 기반으로 제작됩니다. 이 밸브는 반도체 장비 훅업, 가스캐비닛, 밸브 매니폴드 박스, 수분과 산소 및 파티클 오염을 제어해야 하는 고순도 실험실 배관에 지정됩니다.

초고순도 가스에 다이어프램 구조를 적용하는 이유는 무엇인가요?

다이어프램은 공정 흐름과 액추에이터 사이에 기밀 차단막을 형성합니다. 아웃가스되는 패킹, 가스 유로의 윤활유, 사이클 사이에 공정 가스를 가두는 공동이 없습니다. 짧고 매끄러운 유로는 퍼지를 빠르게 하며 이는 실란, 암모니아 또는 염화수소 같은 반응성 가스 사이를 전환할 때 중요합니다.

• 접액 경로에 스템 패킹이 없는 금속 다이어프램 격리 구조
• 빠른 퍼지 및 낮은 캐리오버를 위한 낮은 내부 체적
• 수분 잔류를 줄이기 위한 전해연마 접액 표면
• 면실링, 맞대기용접 또는 압착피팅 엔드연결

재질 및 표면 마감

본체 재질은 개재물 함량이 낮고 내식성이 일정한 316L VIM/VAR 스테인리스강입니다. 접액표면은 전해연마한 후 세정, 건조하여 클린룸 설치를 위해 이중 봉투 포장합니다. 다이어프램 재질은 가스 호환성에 따라 선택하며, 일반 고순도 서비스에는 316L, 공격적인 할라이드에는 니켈계 합금을 적용합니다.

• 316L VIM/VAR 본체, 저황 및 저개재물
• 전해연마된 내부 유로
• 출하 전 헬륨 누설테스트 완료
• 클린룸 조립 및 이중 봉투 포장

적절한 유량계수 선정

밸브를 과대선정하기보다 필요한 유량에 맞게 Cv를 선정하십시오. Cv 0.27인 1/4 인치 시트는 사용지점 장비 격리에 적합하고, Cv 0.70-2.8인 1/2 인치 및 3/4 인치 본체는 분기 배관에 사용되며, Cv 3.5인 1 인치 본체는 주 분배 헤더에 적합합니다. 과대선정된 밸브는 데드볼륨을 늘리고 퍼지 사이클을 늦춥니다.

• Cv 0.20-0.27: 사용지점 및 계기 격리
• Cv 0.70-0.80: 분기 및 패널 라인
• Cv 2.8-3.5: 헤더 및 고유량 분배

일반 사양

자주 묻는 질문