응용 분야

특수가스 밸브 적용 분야

가스와 공정이 다르면 밸브에 요구되는 조건도 달라집니다. 이러한 가이드는 각 산업에서 사용되는 밸브 유형, 재질 및 안전상태 로직을 다룹니다.

반도체 팹 가스 공급용 UHP 다이어프램 밸브, 레귤레이터 및 VMB 패널: 실란, NF3, NH3

광전지 셀 라인용 고순도 밸브: 실란, 암모니아 및 아산화질소의 PECVD, 확산 및 박막 증착 공급.

MOCVD 및 LED 생산용 UHP 밸브: 금속유기 전구체 라인, 암모니아, 수소화물 및 반송 수소의 고속 퍼지 전환.

GC, ICP, 질량분석 및 교정 가스 시스템용 고순도 밸브: 낮은 데드볼륨

수소 저장, 튜브 트레일러 및 연료전지 테스트 스탠드용 고압 밸브: 20 MPa 사용 압력, 낮은 누설률.

SiH4, NH3, HCl, Cl2 및 NF3 밸브 선정: 벨로우즈 실 및 다이어프램 밸브, 호환 합금, 상시폐쇄 안전 상태.

실린더 캐비닛, 가스 야드 및 벌크 배분용 밸브: 실린더 밸브, 고압 격리, 레귤레이터.