Valonix 유체 시스템특수가스 밸브 / 순도 중심 설계[email protected] | 견적 요청 | EN / 전 세계 공급
01 UHP 다이어프램 밸브 / 고순도 가스 시스템

특수가스 밸브.
순도를 위해 설계되었습니다.

Valonix는 반도체 팹, 태양광 라인 및 실험실용 초고순도 다이어프램 밸브, 고압 가스 밸브, 체크밸브 및 매니폴드 패널을 제작합니다. 아래 제품군을 살펴보십시오.

바디316L VIM/VAR
누설테스트헬륨
최대 압력4500 PSI
연결부VCR / 용접
도면 01 / VX4-LPREV. C
VX4 저압 UHP 다이어프램 밸브 - 1/4 VCR UHP 다이어프램 밸브 300 psi
300 PSI · Cv 0.27 · 1/4, 3/8재고보유
02 / 제품 범위

특수가스 밸브, 사양 지정 준비 완료

전체 밸브 27개 →

포트사이즈, 압력 등급 및 Cv를 앞서 명시한 실제 모델입니다. 계열별로 필터링하거나 전체 카탈로그를 여십시오.

VX4 저압 UHP 다이어프램 밸브 - 1/4 VCR UHP 다이어프램 밸브 300 psiVX4-LP
UHP 다이어프램 밸브

VX4 저압 UHP 다이어프램 밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8
  • 최대 압력300 PSI
  • Cv0.27
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VX4H 고압 다이어프램 밸브 - 4500 psi 고압 다이어프램 밸브VX4H-HP
고압 다이어프램 밸브

VX4H 고압 다이어프램 밸브

  • 포트사이즈1/4
  • 최대 압력4500 PSI
  • Cv0.20
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VX8 저압 UHP 다이어프램 밸브 - 1/2 VCR 다이어프램 밸브 Cv 0.70VX8-LP
UHP 다이어프램 밸브

VX8 저압 UHP 다이어프램 밸브

  • 포트사이즈1/2
  • 최대 압력300 PSI
  • Cv0.70
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VT423 삼방향 UHP 다이어프램 밸브 - 삼방향 UHP 다이어프램 밸브 1/4 VCRVT423
삼방향 다이어프램 밸브

VT423 삼방향 UHP 다이어프램 밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8, 1/2
  • 최대 압력300 PSI
  • Cv0.3
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CV20L 고압 공압 밸브 - 20 MPa 공압 고압 밸브CV20L
실린더 및 고압 밸브

CV20L 고압 공압 밸브

  • 포트사이즈3/8, 1/2, 3/4
  • 최대 압력20 MPa
  • Cv요청 시
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VMU 고순도 미터링 밸브 - 고순도 미터링 밸브 Cv 0.019VMU
미터링 및 니들밸브

VMU 고순도 미터링 밸브

  • 포트사이즈1/4, 1/2, 6mm
  • 최대 압력700 PSI
  • Cv미터링 스템 0.019
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VX8H 고압 다이어프램 밸브 - 3500 psi 고압 가스 밸브VX8H-HP
고압 다이어프램 밸브

VX8H 고압 다이어프램 밸브

  • 포트사이즈1/2
  • 최대 압력3500 PSI
  • Cv0.80
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VX12 대유량 UHP 다이어프램 밸브 - 3/4 다이어프램 밸브 Cv 2.8VX12-LP
UHP 다이어프램 밸브

VX12 대유량 UHP 다이어프램 밸브

  • 포트사이즈3/4
  • 최대 압력300 PSI
  • Cv2.8
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VX16 대유량 UHP 다이어프램 밸브 - 1 인치 UHP 다이어프램 밸브 Cv 3.5VX16-LP
UHP 다이어프램 밸브

VX16 대유량 UHP 다이어프램 밸브

  • 포트사이즈1 인치
  • 최대 압력300 PSI
  • Cv3.5
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VP20 고압 라인 다이어프램 밸브 - 20 MPa 고압 라인 다이어프램 밸브VP20
고압 다이어프램 밸브

VP20 고압 라인 다이어프램 밸브

  • 포트사이즈3/8, 1/4
  • 최대 압력20 MPa
  • Cv요청 시
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VB-HP 벨로우즈 실링 밸브 - 고압 벨로우즈 실링 밸브VB-HP
벨로우즈 실링 밸브

VB-HP 벨로우즈 실링 밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8, 6mm, 8mm
  • 최대 압력350 PSI
  • Cv0.3
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VB8 저압 벨로우즈 실링 밸브 - 1/2 벨로우즈 실링 밸브 500 psiVB8
벨로우즈 실링 밸브

VB8 저압 벨로우즈 실링 밸브

  • 포트사이즈1/2, 3/8, 10mm, 12mm
  • 최대 압력500 PSI
  • Cv0.80
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VB4 저압 벨로우즈 실링 밸브 - 1/4 벨로우즈 실링 밸브 500 psiVB4
벨로우즈 실링 밸브

VB4 저압 벨로우즈 실링 밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8, 6mm, 8mm
  • 최대 압력500 PSI
  • Cv0.3
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VMG 정밀 미터링 밸브 - 정밀 미터링 밸브 700 psiVMG
미터링 및 니들밸브

VMG 정밀 미터링밸브

  • 포트사이즈1/4, 1/2, 6mm
  • 최대 압력700 PSI
  • Cv미터링 스템 0.019
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BI 계기용 볼밸브 - 계기용 볼밸브 1000 psiBI
고순도 볼밸브

BI 계측용 볼밸브

  • 포트사이즈1/4, 1/2
  • 최대 압력요청 시
  • Cv요청 시
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B3H 삼피스 고압 볼 밸브 - 삼피스 볼 밸브 6000 psiB3H
고순도 볼밸브

B3H 삼피스 고압 볼밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8, 1/2
  • 최대 압력요청 시
  • Cv요청 시
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BVI 일체형 바디 볼 밸브 - 일체형 바디 볼 밸브 3000 psiBVI
고순도 볼밸브

BVI 일체형 바디 볼밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8, 1/2
  • 최대 압력요청 시
  • Cv요청 시
사양 보기 →
B3W 삼방향 볼밸브 - 삼방향 볼밸브 6000 psiB3W
고순도 볼밸브

B3W 삼방향 볼밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8, 1/2
  • 최대 압력요청 시
  • Cv요청 시
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BW 용접 본체 볼밸브 - 용접 볼밸브 1 인치BW
고순도 볼밸브

BW 용접 바디 볼밸브

  • 포트사이즈1/2, 3/4, 1
  • 최대 압력요청 시
  • Cv요청 시
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CW 저크래킹 압력 체크 밸브 - 2 psi 크래킹 압력 체크 밸브CW
고순도 체크밸브

CW 낮은 크래킹압력 체크밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8, 6-12mm
  • 최대 압력300 PSI
  • Cv요청 시
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CH 고압 체크 밸브 - 고압 체크 밸브 6000 psiCH
고순도 체크밸브

CH 고압 체크밸브

  • 포트사이즈1/4, 1/2, 3/4
  • 최대 압력6000 PSI
  • Cv요청 시
사양 보기 →
CV 고순도 체크밸브 - 고순도 체크밸브 3000 psiCV
고순도 체크밸브

CV 고순도 체크밸브

  • 포트사이즈1/4
  • 최대 압력3000 PSI
  • Cv요청 시
사양 보기 →
NV 고순도 니들 밸브 - 고순도 니들 밸브 6000 psiNV
미터링 및 니들밸브

NV 고순도 니들밸브

  • 포트사이즈1/4, 3/8, 1/2
  • 최대 압력요청 시
  • Cv요청 시
사양 보기 →
RV 고순도 언로딩 밸브 - 고순도 언로딩 밸브RV
실린더 및 고압 밸브

RV 고순도 하역 밸브

  • 포트사이즈요청 시
  • 최대 압력요청 시
  • Cv요청 시
사양 보기 →
WRV 조절식 언로딩 밸브 - 조절식 언로딩 밸브 1000 psiWRV
실린더 및 고압 밸브

WRV 조절식 하역 밸브

  • 포트사이즈1/4
  • 최대 압력1000 PSI
  • Cv요청 시
사양 보기 →
UCV20 CGA/DISS 실린더 밸브 - CGA DISS 특수가스 실린더 밸브UCV20
실린더 및 고압 밸브

UCV20 CGA/DISS 실린더 밸브

  • 포트사이즈요청 시
  • 최대 압력20 MPa
  • Cv요청 시
사양 보기 →
CV20A 공압 실린더 밸브 - 20 MPa 공압 실린더 밸브CV20A
실린더 및 고압 밸브

CV20A 공압 실린더 밸브

  • 포트사이즈3/4
  • 최대 압력20 MPa
  • Cv요청 시
사양 보기 →
Valonix를 선택하는 이유

단순한 압력 등급만이 아니라 순도를 중심으로 설계

특수가스 밸브는 가장 취약한 제조 단계만큼만 청정합니다. 당사는 저개재물 316L VIM/VAR 바디, 전해연마된 접액표면, 메탈 다이어프램 또는 벨로우즈 격리, 그리고 헬륨 누설테스트를 하나의 패키지로 지정합니다.

  • 금속 다이어프램 격리 — 가스 유로에 스템 패킹 없음
  • 전해연마된 접액 표면 및 저유황 관리 재질
  • VCR 면실링, 맞대기용접 및 CGA/DISS 연결 옵션
  • 수동 및 상시 폐쇄 공압 구동
  • 클린룸 조립 및 이중 봉투 포장
당사의 접근 방식
기술 라이브러리

가스 시스템 설계자를 위한 엔지니어링 노트

05 / 산업

당사 밸브는 어디에 설치됩니까?

일곱 가지 가스 공급 환경에서 실린더 캐비닛부터 사용지점까지 하나의 일관된 접액 기준을 적용합니다.

전체 애플리케이션 →
01 / 07

반도체 팹 가스 공급

실란, NF3, NH3 및 도펀트 라인용 UHP 다이어프램 밸브, 레귤레이터 및 VMB 패널로 가스 야드에서 사용지점까지.

애플리케이션 보기 →
02 / 07

태양광 및 태양전지 제조

PECVD, 확산 및 박막 라인의 실란, 암모니아 및 아산화질소 배분용 고유량 UHP 밸브

애플리케이션 보기 →
03 / 07

MOCVD 및 LED 공정가스

금속유기 전구체, 수소화물 및 수소 반송 배관용 낮은 데드볼륨 전환, 미터링 및 UHP 밸브.

애플리케이션 보기 →
04 / 07

실험실 및 분석기기 가스

GC, ICP, 질량분석 및 교정 가스 시스템용 낮은 데드볼륨 차단, 미터링 및 체크밸브

애플리케이션 보기 →
05 / 07

수소 및 연료전지 고압 밸브

저장 뱅크, 튜브 트레일러, 충전 스키드 및 연료전지 테스트 스탠드용 20 MPa 다이어프램·체크·실린더 밸브입니다.

애플리케이션 보기 →
06 / 07

부식성 및 독성 특수가스

SiH4, NH3, HCl, Cl2 및 NF3 서비스용 호환 합금을 적용한 벨로우즈 실 및 다이어프램 밸브로 인터록 시 상시폐쇄됩니다.

애플리케이션 보기 →
07 / 07

실린더 캐비닛 및 벌크 가스 배분

가스캐비닛 및 벌크 헤더용 실린더 밸브, 고압 격리, 레귤레이터 및 체인지오버 어셈블리.

애플리케이션 보기 →
+ / 맞춤제작

귀사의 공정이 목록에 없나요?

가스 목록, 압력 및 유량을 보내주시면 저희가 밸브 계열, 접액 재질 및 단부 연결을 귀하의 배관에 맞춰 확인해 드리겠습니다.

엔지니어에게 문의하기 →
06 / 지원

자주 묻는 질문

밸브 선정, 구동 방식 및 엔드연결에 관한 간단한 답변입니다. 특정 가스, 압력 또는 유량에 대해서는 당사 엔지니어가 정확한 모델을 확인해 드립니다.

엔지니어에게 문의하기 → 8개 질문 모두 읽기 →
답변 검토VALONIX 엔지니어링REV. C / UHP 가스 시스템
01특수가스 밸브란 무엇입니까?

특수가스 밸브는 고순도, 부식성, 유독성 또는 자연발화성 가스용으로 제작된 폐쇄, 전환 또는 유량제어 밸브입니다. 일반 산업용 밸브와 비교하면 불순물이 적은 스테인리스강, 금속 다이어프램 또는 벨로우즈 실, 전해연마 접액표면, 헬륨 누설 테스트, 클린룸 포장을 사용합니다.

02UHP 가스 라인에 어느 밸브 유형이 가장 적합한가요?

UHP 다이어프램 밸브가 표준 선택지입니다. 금속 다이어프램이 액추에이터를 가스 경로에서 격리하고 내부 체적이 작으며, 가스가 방출될 스템 패킹도 없습니다.

03특수가스와 산업가스의 차이는 무엇입니까?

특수가스는 고순도로 공급되거나 반응성, 부식성, 독성 또는 자연발화성을 가집니다. 이러한 가스의 공급 시스템은 질소나 압축공기 같은 벌크 산업가스보다 훨씬 엄격한 누설, 청정도 및 재질 관리가 필요합니다.

04수동 및 공압 버전을 제공하나요?

네. 대부분의 밸브 계열은 수동 핸드휠 또는 상시폐쇄 공압 액추에이터로 제공됩니다. 공압형은 일반적으로 수동형보다 최대 압력등급이 낮습니다.

05엔드연결 옵션은 무엇인가요?

모델에 따라 VCR 면실링, 궤도식 맞대기용접, 압착피팅, 나사산 또는 CGA/DISS 실린더 연결을 적용합니다.

가스, 압력 및 유량을 알려주십시오

당사는 귀하의 배관에 맞는 밸브 유형, 접액 재질, 엔드 연결 및 작동 방식을 확인해 드립니다.

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