가스 밸브 매니폴드 및 VMB
가스 밸브 매니폴드는 실린더 격리, 압력 조절, 공정 공급, 퍼지 및 벤트를 하나의 제어 어셈블리로 모읍니다. 밸브 매니폴드 박스(VMB)와 밸브 매니폴드 패널(VMP)은 퍼지 순서와 인터록을 한곳에 유지하면서 특수가스를 공급원에서 여러 장비로 배분하는 표준 방식입니다.
관련 밸브 모델
전체 밸브 27개 →
VX4-LPVX4 저압 UHP 다이어프램 밸브
- 포트사이즈1/4, 3/8
- 최대 압력300 PSI
- Cv0.27
VX4H-HPVX4H 고압 다이어프램 밸브
- 포트사이즈1/4
- 최대 압력4500 PSI
- Cv0.20
VX8-LPVX8 저압 UHP 다이어프램 밸브
- 포트사이즈1/2
- 최대 압력300 PSI
- Cv0.70
VX8H-HPVX8H 고압 다이어프램 밸브
- 포트사이즈1/2
- 최대 압력3500 PSI
- Cv0.80
VX12-LPVX12 대유량 UHP 다이어프램 밸브
- 포트사이즈3/4
- 최대 압력300 PSI
- Cv2.8
VX16-LPVX16 대유량 UHP 다이어프램 밸브
- 포트사이즈1 인치
- 최대 압력300 PSI
- Cv3.5
VT423VT423 삼방향 UHP 다이어프램 밸브
- 포트사이즈1/4, 3/8, 1/2
- 최대 압력300 PSI
- Cv0.3
VP20VP20 고압 라인 다이어프램 밸브
- 포트사이즈3/8, 1/4
- 최대 압력20 MPa
- Cv요청 시
주문에 맞춰 구성
이러한 어셈블리는 P&ID, 가스 목록 및 인터록 철학에 따라 구성됩니다. 요구사항을 보내주세요.
Valonix는 UHP 다이어프램 밸브, 고순도 레귤레이터, 체크밸브 및 삼방향 전환밸브를 중심으로 이러한 어셈블리를 제작하므로 모든 접액 부품이 하나의 청정도 기준을 공유합니다.
자동 전환
듀얼 실린더 체인지오버 시스템은 장비 공급을 중단하지 않고 사용 실린더에서 대기 실린더로 전환합니다. 압력 감지가 전환을 유발하며 퍼지 순서가 전환된 배관을 온라인으로 연결하기 전에 비웁니다. 계획되지 않은 가스 중단으로 웨이퍼 배치가 폐기되는 팹 장비에는 연속 공급이 필수적입니다.
- 사용 / 대기 실린더 전환
- 자동 또는 수동 전환
- 새 라인을 가동하기 전에 퍼지하십시오
VMB / VMP의 구조
일반적인 패널은 실린더 연결, 고압 격리 밸브, 레귤레이터, 공정 다이어프램 밸브, 퍼지 다이어프램 밸브, 벤트 체크밸브 및 삼방향 전환 밸브를 포함합니다. 인터록은 작동 순서를 강제하고 공정 가스가 투입되기 전에 밸브 위치를 확인합니다.
- 격리, 조절, 공정, 퍼지 및 벤트 밸브
- 인터록 퍼지 및 벤트 시퀀스
- 구동 밸브의 위치 피드백
필요한 설계 입력값
매니폴드를 구성하려면 가스 목록, 공급원 및 출구 수, 공급 압력, 유량 수요, 퍼지 방식, 확보 가능한 계기용 공기, 그리고 현장의 안전/인터록 설계 개념이 필요합니다. 이를 사전에 제공하면 이미 용접된 패널의 재작업을 피할 수 있습니다.
- 가스 목록 및 농도
- 소스 및 출구 개수
- 공급 압력 및 유량
- 인터록 및 ESD 철학
일반 사양
| 패널 유형 | VMB, VMP, 전환, 보조 패널 |
|---|---|
| 핵심 밸브 | UHP 다이어프램, 삼방향, 체크 |
| 압력 제어 | 단일 / 이단 레귤레이터 |
| 작동 방식 | 공압 상시폐쇄 |
| 퍼지 | 인터록 공정 / 퍼지 / 벤트 |
| 문서 | P&ID, 누설테스트 및 BOM |
자주 묻는 질문
VMB와 VMP의 차이는 무엇인가요?
VMB(밸브 매니폴드 박스)는 밀폐된 캐비닛이고, VMP(밸브 매니폴드 패널)는 개방형 또는 프레임 장착형 패널입니다. 둘 다 동일한 공급 분배 및 퍼지 기능을 수행합니다.
귀사의 P&ID에 맞춰 제작 가능한가요?
예. P&ID, 가스 목록 및 인터록 요건을 공유해 주시면 패널을 그에 맞게 구성할 수 있습니다.
문서를 제공하나요?
P&ID, 자재 명세서, 누설테스트 기록 및 재질 성적서는 패널과 함께 제공될 수 있습니다.