특수가스 레귤레이터

이들은 실린더 밸브의 하류이자 개별 분기를 격리하는 UHP 다이어프램 밸브의 상류에 설치되므로 가스캐비닛이나 패널의 압력제어 중심이 됩니다.

단일단 대 이단

단일단 레귤레이터는 컴팩트하며 입구 압력이 비교적 일정할 때 충분합니다. 이단형은 실린더가 비워질 때도 공급 압력을 더 안정적으로 유지하므로, 분석 기기, MOCVD 공정 및 유량 허용오차가 엄격한 모든 장비에 중요합니다.

• 단일 단계: 컴팩트하고 안정적인 입구 압력
• 이단: 실린더 압력 저하 중에도 안정적인 공급
• 패널 및 실린더 장착 옵션

입구 및 출구 범위

고순도 모델은 500-3500 PSI 입구를 수용하며 출구 범위는 0-30에서 최대 0-250 PSI까지입니다. 고압 피스톤 감지 모델은 4500-6000 PSI 입구를 수용하고 최대 3000 PSI까지 공급합니다. 대유량 바디는 벌크 분배용으로 3/4 인치 연결을 사용합니다.

• 입구 500-3500 PSI / 고압은 6000 PSI까지
• 출구 0-15, 0-30, 0-60, 0-100, 0-150, 0-250 PSI
• 3/4 인치 포트를 구비한 대유량 바디

다이어프램 재질과 가스 적합성

하스텔로이 다이어프램은 부식성 가스에 선정되며, 316L은 일반 고순도 서비스의 표준입니다. 가스, 농도, 그리고 시스템이 진공에 노출되는지 여부를 항상 명시하십시오. 일부 엘라스토머와 다이어프램 재질은 할라이드 및 하이드라이드와 호환되지 않기 때문입니다.

• 하스텔로이 또는 316L 다이어프램
• 가스 및 농도를 명시하십시오
• 진공 사용은 반드시 명시해야 합니다

일반 사양

자주 묻는 질문